英特尔讨论了高EUV的Intel 14a的可能使用:两个光

该房屋于4月30日报道说,如果英特尔铸造厂Direct Connect(Intel Foundry会议),英特尔没有在Intel 14A Advanced Node引入EUV光刻的高科技,但Foundery Execivery Execivey Naga Chandrasekaran仍然对相关问题表示了自己的看法,那么英特尔没有澄清。他说,英特尔仍然可以选择在14A过程的EUV光刻步骤中仅使用传统的低或部分进口高点。这两种解决方案与设计策略的条款兼容,这意味着选择哪种技术路径不会影响客户。英特尔已安装了ASML为俄勒冈R&D Fab提供的EUV的第二个高光谱系统,该系统与期望一致。英特尔EUV技术的高度开发继续朝着pline制作的发展,并掌握了18A和14A水平的高EUV数据。